中信证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见

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中信证券股份有限公司

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见

中信证券股份有限公司（以下简称“独立财务顾问”）作为中微半导体设备

（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）发行股份及支付现金购买资产并募

集配套资金的独立财务顾问（主承销商），根据《上市公司募集资金监管规则》

《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律

监管指引第 1号——规范运作》等相关法律法规和规范性文件的规定，对使用闲

置募集资金进行现金管理情况进行了核查，具体情况如下：

一、投资情况概述

（一）投资目的

在确保不影响募集资金项目建设和募集资金使用的情况下，公司使用部分暂

时闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金的使用效率，降低公司财务

费用，增加公司收益。

（二）投资金额

公司拟使用额度不超过 73,042万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限

自董事会审议通过之日起 12个月内有效，在不超过上述额度及有效期内，可循

环滚动使用。

（三）资金来源

经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公

司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》（证监许可〔2026〕1147 号）

核准，公司向特定对象发行人民币普通股（A 股）5,156,765股，每股发行价格

为人民币 290.88元，募集资金总额为人民币 149,999.98万元，扣除各项发行费

用后实际募集资金净额为人民币 148,988.12万元。上述募集资金到位情况已经

普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具普华永道中天验

字（2026）第0016号《验资报告》。上述募集资金已全部存放于募集资金专户管

理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、独立财务顾问签订了募集资

金监管协议。

发行名称 发行股份购买资产并募集配套资金

募集资金到账时间 2026年6月17日

募集资金总金额 149,999.98万元

募集资金净额 148,988.12万元

超募资金总额 不适用

☐适用

项目名称 累计投入进度（%） 达到预定可使用状

态时间

高端半导体设备产 0% 不适用

业化项目

募集资金使用情况 高端半导体设备研 0% 不适用

发中心项目

支付现金对价及中 13.71%不适用

介机构费用

补充流动资金 0% 不适用

是否影响募投项目实施 ☐是 否

（四）投资方式

1、现金管理品种

公司将按照资金管理相关规定严格控制风险，拟使用暂时闲置的募集资金购

买安全性高、流动性好的保本型产品（包括但不限于协定存款、通知存款、结构

性存款、定期存款、大额存单等），投资产品的期限不超过 12个月。

公司不会将闲置募集资金用于投资以股票、利率、汇率及其衍生品种、无担

保债券为主要投资标的的投资产品，投资产品不得质押。

2、实施方式

在公司董事会授权的投资额度范围内，董事长行使该项投资决策权并签署相

关合同文件，具体事项由财务部负责组织实施。

3、信息披露

公司将按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公

司自律监管指引第 1号——规范运作》等相关法规和规范性文件的要求，及时披

露公司现金管理的具体情况。

4、现金管理收益的分配

公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募

投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证

监会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。

5、最近 12个月截至目前公司募集资金现金管理情况

序号 现金管理类型 实际投入金额 实际收回本 实际收益（万 尚未收回本金

（万元） 金（万元） 元） 金额（万元）

1 结构性存款 343,000.00305,000.00761.40 38,000.00

2 单位协定存款 77,015.63 不适用 126.23 77,015.63

3 其他：七天通知 52,313.22 - 529.91 52,313.22

存款

合计 1,417.54 167,328.85

最近12个月内单日最高投入金额 177,049.78

最近12个月内单日最高投入金额/最近一年净资产（%） 5.85

最近12个月内单日最高投入金额/最近一年净利润（%） 41.85

募集资金总投资额度（万元） 1,091,893.96

目前已使用的投资额度（万元） 839,741.06

尚未使用的投资额度（万元） 252,152.90

二、审议程序

公司于 2026年8月 19日召开第三届董事会第十五次会议，审议通过了《关

于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过 73,042万

元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起 12个月内有

效，在不超过上述额度及有效期内，可循环滚动使用。公司本次授权暂时闲置募

集资金进行现金管理的最高额度，非实际现金管理金额。公司将严格执行募集资

金使用计划，在确保不影响募集资金投资项目建设计划的前提下进行现金管理，

未改变募集资金的使用计划，有利于提高资金使用效率，符合公司和全体股东的

利益。独立财务顾问出具了明确的核查意见。本次事项无需提交股东会审议。

三、投资风险分析及风控措施

公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理仅限于购买安全性高且流动