国泰海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及部分募投项目延期的核查意见

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国泰海通证券股份有限公司

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金

及部分募投项目延期的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为中

微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）2019

年度首次公开发行股票并在科创板上市和 2020年度向特定对象发行股票的保荐

人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》、

《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1号——规范运作》等有关法

律法规和规范性文件的要求，对其 2020年度向特定对象发行股票的部分募投项

目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及部分募投项目延期进行了核查，核

查情况如下：

一、2020年度向特定对象发行股票募集资金基本情况

发行名称 2020年向特定对象公开发行股票

募集资金总额 820,665.87万元

募集资金净额 811,816.24万元

募集资金到账时间 2021年6月22日

经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公

司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2021〕645 号）核准，公司向

特定对象发行人民币普通股（A 股）80,229,335股，每股发行价格为人民币102.29

元，募集资金总额为人民币 820,665.87万元，扣除各项发行费用后实际募集资金

净额为人民币 811,816.24万元。上述募集资金到位情况已经普华永道中天会计师

事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具普华永道中天验字〔2021〕第 0638

号《验资报告》。

上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募

集资金的商业银行、保荐人签订了募集资金监管协议。

二、2020年度向特定对象发行股票募集资金投资项目的基本情况

根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020年度向特定对象发行 A

股股票募集说明书》及《中微公司：关于调整向特定对象发行股票募投项目募集

资金投入金额的公告》，本次募投项目情况如下：

项目名称 募集资金承诺投资总额 调整后投资总额

（万元） （万元）

中微产业化基地建设项目 317,000.00 317,000.00

中微临港总部和研发中心项目 375,000.00 375,000.00

科技储备资金 308,000.00 119,816.24

合计 1,000,000.00 811,816.24

截至 2026年 6月 30日，2020 年向特定对象公开发行股票募集资金使用情

况如下：

单位：万元

发行名称 2020年向特定对象公开发行股票

募集资金到账时间 2021年6月 22日

本次报告期 2026年1月 1日至 2026年 6月 30日

项目 金额

一、募集资金总额 820,665.87

其中：超募资金金额 -

减：直接支付发行费用 8,849.63

二、募集资金净额 811,816.24

减：

以前年度已使用金额 680,793.15

本年度使用金额 27,932.71

暂时补流金额 -

现金管理金额 148,336.90

银行手续费支出及汇兑损益 1.64

加：

募集资金利息收入 45,736.82

其他 422.28

三、报告期期末募集资金余额 910.94

截至 2026年 6月 30日，2020 年向特定对象公开发行股票募集资金存放情

况如下：

单位：万元

发行名称 2020年向特定对象公开发行股票

募集资金到账时间 2021年6月 22日

账户名称 开户银行 银行账号 报告期 账户状

末余额 态

中微半导体设备（上 招商银行上海分行 121910890310707 80.13使用中

海）股份有限公司

中微半导体设备（上 中信银行上海浦东 8110201013601303837143.58使用中

海）股份有限公司 分行

中微半导体设备（上 上海浦东发展银行 97160078801900002862633.82使用中

海）股份有限公司 张江科技支行

中微半导体设备（上 中国建设银行上海 3105016137360000613353.40使用中

海）股份有限公司 金桥支行

三、本次募投项目结项及募集资金节余情况

（一）募集资金结项及节余情况

结项名称 中微产业化基地建设项目

结项时间 2026年8月

募集资金承诺使用金额 317,000.00万元

募集资金实际使用金额 282,791.26万元

节余募集资金金额 34,208.74万元

节余募集资金使用用途及相应金额 补充流动资金 34,208.74万元

（二）募集资金节余的主要原因

本次募集资金节余的主要原因如下：

1、募投项目建设实施期间，经公司研究和分析，优化施工工艺，有效实现

资源的合理配置；

2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，在保证项目质量

的前提下，坚持合理、节约、有效、谨慎的原则，加强项目建设各个环节成本费

用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出；

3、因募集资金投资项目建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目建设

进度，公司对短期内出现的部分闲置募集资金进行了现金管理，有效提高了募集

资金的使用效率，增加了公司收益。