【光刻机解决国产化瓶颈01问题，订单弹性1到N看整体设备供应链】

内容摘要

光刻机产业链：上万个零部件，上千家供应商，协作打造高端设备。ASML一台光刻机包含了10万个零部件，主要部件包含测量台与曝光台、激光器、光束矫正器、能量控制器等11个模块。除国内积极推进光刻机整机集成外，还包括光源、物镜与照明系统、双工件台、浸没系统等关键组成部分，与涂胶显影及量测检测的配套设备均在快速成长。 从光刻工艺相关的设备及零部件厂商角度，关注芯源微、茂莱光学、奥普光电、福晶科技、波长光电、永新光学、炬光科技、腾景科技、富创精密、苏大维格、旭光电子、汇成真空等。 对于中国半导体产业来说，光刻机是解决天花板在哪的问题，而刻蚀、薄膜沉积、量测等设备则是“填砖加瓦”的主力军。…