中国开始量产国产 DUV 芯片制造设备，本土芯片产业取得进展

内容摘要

一家具备国资背景的上海公司，首次启动芯片制造核心设备的量产工作，这是国内为降低芯片制造领域海外技术依赖而取得的关键突破。 据两名知情人士透露，这家总部坐落于上海的企业，正在生产浸没式深紫外（DUV）光刻机，该设备是台积电等全球芯片制造公司生产芯片时使用的核心生产装备。 核心要点 国内国资背景企业正式启动 DUV 芯片制造设备量产 在美国持续出台限制政策的行业背景下，该突破标志着国内本土芯片产业实现重要进展 设备初期量产目标：今年完成 5 台 DUV 设备生产，2027 年量产规模提升至 20 台 由于国内光刻机研发项目具备高度敏感性，受访知情人士要求隐去这家设备公司的具体名称。…